藍(lán)寶石襯底的圖形化技術(shù)

文章來(lái)源:恒光電器

發(fā)布時(shí)間:2015-01-05

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目前LED行業(yè)大部分使用藍(lán)寶石作為外延生長(zhǎng)的襯底材料，工程照明，隨著業(yè)界對(duì)LED亮度提高的需求越來(lái)越明顯，行業(yè)資訊，各種提高出光的方法得到了實(shí)施， led亮化工程，圖形化襯底就是其中的一種。

PSS技術(shù)是側(cè)向外延（ELOG）技術(shù)的一項(xiàng)衍生技術(shù)。ELOG技術(shù)是通過(guò)增加橫向生長(zhǎng)速度使得位錯(cuò)彎曲不再延伸到生長(zhǎng)表面，從而降低位錯(cuò)密度的一項(xiàng)技術(shù)。由于ELOG技術(shù)需要SiO2或者SiNx等作為掩模，生長(zhǎng)過(guò)程需要中斷且生長(zhǎng)周期較長(zhǎng)，而且生長(zhǎng)掩膜還會(huì)帶來(lái)生長(zhǎng)表面的沾污等等。2000年，國(guó)際資訊，美國(guó)Ashby等人在帶有條形結(jié)構(gòu)的藍(lán)寶石襯底生采用了單步生長(zhǎng)GaN的方法，他們?cè)谝r底的溝槽區(qū)域發(fā)現(xiàn)了GaN的懸掛臂外延，這就是PSS技術(shù)的雛形。2001年日本Tadatomo等人提出了使用干法刻蝕制備具有周期性條紋的PSS，酒店led照明，照明方案，商業(yè)照明，有效地提高了外量子效率。

PSS的圖形制備流程如下圖：

目前國(guó)內(nèi)有很多企業(yè)都在采用PSS技術(shù)了，例如三安、德豪、華磊、華燦等。各家的PSS圖形都不相同，商業(yè)照明，每個(gè)企業(yè)通過(guò)自己的工藝控制來(lái)調(diào)整圖形結(jié)構(gòu)。但大體的圖形結(jié)構(gòu)種類(lèi)有以下幾種：

 

 未來(lái)發(fā)展技術(shù)之一：多重PSS

 

以上圖片也是PSS發(fā)展的歷程，醫(yī)院led照明，恒光，細(xì)觀這么多種圖形各有千秋。PSS技術(shù)的發(fā)展有會(huì)在各家企業(yè)的努力中成長(zhǎng)。北京大學(xué)張國(guó)義教授總結(jié)PSS技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)為：

圖形襯底由2英寸發(fā)展到4英寸，裝修照明，面積越來(lái)越大。

圖形結(jié)構(gòu)由簡(jiǎn)單向復(fù)雜化優(yōu)化

圖形尺寸由微米級(jí)向納米級(jí)發(fā)展，醫(yī)院led照明，商業(yè)照明燈具，等

PSS技術(shù)是我們LED行業(yè)眾多技術(shù)的一種，產(chǎn)業(yè)資訊，目前也有很多藍(lán)寶石基板企業(yè)直接提供已經(jīng)PSS好的襯底了，未來(lái)的圖形是否能形成標(biāo)準(zhǔn)化?上游企業(yè)幫下游完成部分工序，這是產(chǎn)業(yè)整合的現(xiàn)象啊。

 

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